Satellite Antenna R2R Coater
SARC|為衛星通訊與航太應用打造的多功能 PI 膜捲對捲鍍膜平台
Satellite Antenna R2R Coater|R2R Sputtering on PI for Satellite Antennas and RF/Optical Integration為衛星通訊與航太應用量身打造的 PI 膜捲對捲鍍膜平台
低軌道衛星(LEO)星鏈、衛星地面接收站、車載雷達、5G/6G 毫米波通訊、國防航太通訊 —— 這些當代與下一世代通訊技術的共同特徵,是「高頻訊號傳輸」、「精密天線陣列」、「嚴苛環境耐受」。從 24 GHz 車載雷達、28 GHz 5G 毫米波、到 60 GHz 以上的衛星通訊頻段,訊號頻率愈高,對天線元件的鍍膜品質要求愈嚴苛 —— 同時,衛星與航太應用還必須承受太空輻射、高低溫循環、真空等極端環境,基材必須具備頂級的耐熱性與長期穩定性。
大永真空 SARC 衛星天線捲對捲鍍膜機(Satellite Antenna R2R Coater)是專為 PI(聚醯亞胺)基材衛星通訊與高頻 RF 應用所優化的大幅寬捲對捲鍍膜設備。SARC 採用 HiPIMS 高功率脈衝技術、PI 高耐熱基材處理能力、種子層+主導電層多階段架構、與高潔淨度製程設計;同時支援 PI 膜上光學膜整合能力,可實現「RF 高頻 + 光學功能」整合的多功能衛星元件,為衛星通訊產業、航太國防、5G/6G 模組廠提供業界領先的 PI 膜量產解決方案。
HiPIMS 高離子化技術|高頻訊號完整性的關鍵
高頻 RF 應用對導電層提出兩個核心要求 —— 「低表面粗糙度」與「低介面阻抗」。表面粗糙度直接影響高頻訊號的趨膚效應(Skin Effect)損失,粗糙表面會大幅增加訊號傳輸阻抗;介面阻抗則決定了天線與基材界面的訊號反射程度,任何微小的介面缺陷都會在毫米波頻段放大為嚴重的訊號完整性問題。
SARC 標配 HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)高功率脈衝電源,透過高離子化率的金屬電漿,在 PI 基材表面形成原子級緻密的導電層。HiPIMS 製程沉積的銅/銀膜具有極低的表面粗糙度與優異的介面緻密度,對應毫米波頻段的訊號傳輸損失較傳統 DC 濺鍍降低 30% 以上,完全滿足 LEO 衛星、5G 毫米波、車載雷達等高階 RF 應用的嚴苛規範。
高耐熱基材專用優化|對應太空與航太極端環境
PI 聚醯亞胺薄膜具備頂級的耐熱性(連續使用溫度可達 260°C 以上)、優異的尺寸穩定性、與卓越的太空輻射耐受能力,是衛星天線、航太通訊元件不可取代的核心基材。然而,PI 表面活性低、化學惰性強,傳統濺鍍製程的附著力與膜厚均勻性常面臨挑戰。
SARC 針對 PI 基材進行深度製程優化 —— 電漿前處理改善 PI 表面活性、種子層精準控制提供附著力過渡、HiPIMS 主導電層確保緻密界面結構。此一專用製程設計,使 SARC 能在 PI 基材上沉積出符合衛星航太應用要求的高品質導電層與光學膜,協助客戶突破 PI 基材的傳統製程瓶頸。
PI 膜上光學膜整合|RF+光學多功能元件的關鍵能力
次世代衛星與航太應用的重要趨勢之一,是「RF + 光學」雙功能整合元件 —— 同一片 PI 基材上,既需要實現高頻天線的 RF 導電功能,又需要整合光學膜以實現太陽光譜選擇性反射、雷射通訊光路控制、熱輻射管理、或特殊波段感測等光學功能。傳統製程需要將 RF 與光學分別在不同設備上完成,不僅製程繁複、整合成本高,更存在基材轉移時的污染與對位精度風險。
SARC 突破性整合「RF 導電層」與「光學薄膜」雙重鍍膜能力,在同一機台、同一 PI 基材上,可依序完成導電金屬層的高附著力沉積與多層光學膜的精密堆疊。這項技術整合能力為衛星天線客戶提供業界少見的「一站式 RF + 光學整合製程」,大幅簡化次世代多功能衛星元件的生產流程,同時有效降低污染風險、提升整體良率。對於追求元件整合度、減重設計、與快速量產的衛星與航太產業,SARC 提供業界最完整的 PI 膜多功能鍍膜解決方案。
高潔淨度製程設計|衛星與航太應用的可靠度保證
衛星通訊元件需在太空環境的極端條件下(高低溫循環、輻射、真空)維持長期可靠運行,任何來自製程環境的微粒污染或膜層缺陷,都可能在嚴苛使用環境下放大為災難性失效。SARC 從機台設計階段就以高潔淨度為目標 —— 腔體採用低粒子釋放材質、進出料區採高潔淨度設計、所有與工件接觸的部件均經過嚴格清潔流程。
SARC 的高潔淨度製程設計,搭配大永獨家的線上電性量測能力,可在每批次製程後立即驗證導電層與光學膜的關鍵性能參數,實現製程品質的即時把關。對於衛星航太、國防通訊、車載雷達等對長期可靠度要求極高的應用,SARC 提供業界少見的「製程級可靠度保證」。
規格表Specifications
| Model | SARC-900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 |
|---|---|
| 產品線 | 捲對捲鍍膜設備 - 衛星天線捲對捲鍍膜機 |
| 幅寬規格 | 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅寬|對應大型衛星天線陣列量產規格 |
| 適用基材 | PI 聚醯亞胺薄膜(主)|可選配適配特殊高頻基材 |
| 鍍膜技術 | 磁控濺射(Magnetron Sputtering)|HiPIMS 高功率脈衝強化 |
| 電源系統 | DC + HiPIMS 雙模設計|HiPIMS 確保低介面阻抗與高頻訊號完整性 |
| 靶座數量 | 多靶位設計|支援種子層 + 主導電層 + 光學膜多階段沉積架構 |
| RF 鍍膜架構 | 種子層 + 銅 / 銀導電層|可整合介電隔離層 |
| 光學鍍膜能力 | PI 基材光學膜整合|支援高反射、選擇性吸收、特殊光譜膜系 |
| 高頻特性 | 低介面阻抗設計|優化毫米波(mmWave)頻段傳輸損失 |
| 膜厚均勻性 | ± 5% 以內(全幅範圍)|關鍵高頻特性一致性保證 |
| 可成膜材料 | 金屬(Cu、Ag、Al、Au)、合金、介電材料(SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅)等 |
| 極限真空 | ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr |
| 操作模式 | 全自動 / 手動切換|高潔淨度製程設計 |
| 選配模組 | HiPIMS 電源 / PECVD 介電膜 / 光學監控 / 線上電性量測 / 高潔淨度進出料 |
※ 上述為標準配置,實際規格可依客戶高頻 RF 與光學應用需求客製化調整。
01HiPIMS 高功率脈衝|高頻訊號完整性關鍵
- 低表面粗糙度:HiPIMS 高離子化金屬電漿,沉積出極低粗糙度的導電表面。
- 低介面阻抗:原子級緻密界面結構,高頻訊號傳輸損失較 DC 濺鍍降低 30% 以上。
- 毫米波對應:完全滿足 24/28 GHz 車載雷達、5G mmWave、衛星通訊頻段需求。
02PI 高耐熱基材專用優化
- 材質適配:針對 PI 聚醯亞胺薄膜的低表面活性、化學惰性深度製程優化。
- 電漿前處理:改善 PI 基材表面活性,提升膜層附著力與一致性。
- 太空級耐熱:PI 連續使用溫度 260°C+,適合太空輻射與航太極端環境應用。
03PI 膜上光學膜整合|RF + 光學多功能
- 雙功能整合:同一機台、同一 PI 基材上完成 RF 導電層與光學膜的整合鍍製。
- 多元光學鍍材:支援 SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅ 等氧化物光學鍍材,可堆疊多層光學膜系。
- 整合製程優勢:免除基材在不同設備間轉移,降低污染風險與對位誤差,提升整體良率。
04種子層 + 主導電層多階段架構
- 種子層精準控制:種子層提供附著力過渡與擴散阻隔,確保長期可靠度。
- 主導電層:HiPIMS 銅或銀導電層提供低阻抗高頻訊號傳輸性能。
- 介電整合:可選配介電隔離層,實現「導電 + 介電 + 光學」整合天線結構。
05高潔淨度製程 + 線上品管
- 低粒子腔體:腔體採用低粒子釋放材質,確保高潔淨度的製程環境。
- 線上量測:選配線上電性與光學量測模組,即時驗證關鍵性能參數。
- 完整追溯:每批次製程數據完整記錄,符合衛星航太與國防產業的品質追溯要求。
SARC 結合 HiPIMS 高功率脈衝、PI 基材處理能力、種子層+主導電層架構、PI 膜上光學膜整合能力與高潔淨度製程,為各類衛星通訊與高頻 RF 應用提供業界領先的捲對捲鍍膜解決方案,廣泛應用於 LEO 衛星、5G/6G 通訊、車載雷達、國防航太等核心高頻產業,並支援次世代「RF + 光學」整合多功能元件的量產需求。
01低軌道衛星 LEO Satellite Constellation
以 SpaceX Starlink、Amazon Kuiper、OneWeb 為代表的低軌道衛星星鏈,正以前所未有的規模部署全球太空通訊網路。每顆 LEO 衛星都需要高效能的相位陣列天線(Phased Array Antenna),且許多次世代衛星元件採用 RF + 光學整合設計,以實現減重與功能整合目標。SARC 為 LEO 衛星天線量產提供關鍵製程支援。
025G/6G 毫米波通訊 5G/6G Millimeter Wave
5G 毫米波(mmWave, 24-39 GHz)與下一代 6G 通訊(預計 100+ GHz)對天線元件的高頻特性要求極為嚴苛。PI 基材的耐熱性適合 5G 基地台戶外長期運作環境,SARC 的 HiPIMS 低介面阻抗能力,完美對應 mmWave 與次世代通訊的核心需求。
03車載雷達與自駕車感測 Automotive Radar & Sensing
車載 24/77/79 GHz 毫米波雷達是自動駕駛感測系統的核心元件,需要高頻天線陣列實現精準的目標偵測。車用環境的高溫(車內最高可達 105°C)與長期可靠度要求,使 PI 基材成為車用 RF 的優選材料之一。SARC 的 HiPIMS 製程提供低介面阻抗的高頻天線基板,是車用雷達量產的關鍵設備。
04RF + 光學整合多功能元件 RF + Optical Integration
次世代衛星與航太元件正朝向「多功能整合」方向發展 —— 同一片 PI 基材上整合 RF 天線、光學感測、熱輻射管理、雷射通訊光路等多重功能,以實現極致的減重設計與系統整合度。SARC 的 RF + 光學雙功能鍍膜能力,為這類次世代多功能元件提供業界少見的整合製程方案。
05國防航太與專業通訊 Defense Aerospace & Professional Communication
軍用通訊、雷達系統、電子作戰、太空科學等國防航太應用,對天線元件的可靠度與性能極致要求,且 PI 基材的高耐熱性與長期穩定性是國防級應用的標準選擇。SARC 的高潔淨度製程設計與品質追溯能力,符合國防產業的嚴苛規範。