MPS｜為手機面板量身打造的高產能濺鍍解決方案

為手機面板與消費電子觸控玻璃打造的高產能濺鍍平台

智慧型手機保護玻璃、平板觸控面板、智慧穿戴顯示面板已成為現代消費電子產品最具規模的光學鍍膜應用之一。每年全球出貨數十億片的觸控與顯示面板,需要高產能、高均勻性、高一致性的鍍膜設備，以滿足消費電子市場「短週期、高週轉、高良率」的核心需求。

大永真空 MPS 手機面板濺鍍機（Mobile Panel Sputter）是基於大永自主研發的 ARMS 高精密濺鍍技術平台，針對大面積手機／觸控面板量產需求所優化的專用設備。MPS 採用雙組濺鍍系統與雙組 ICP 電漿源的高產能配置，搭配公轉式平面治具與大面積均勻性優化，為消費電子品牌與面板廠提供業界領先的手機面板濺鍍量產方案。

雙組濺鍍系統 + 雙 ICP 電漿源｜高產能配置不容妥協

手機面板量產的核心需求是「產能」 —— 日產量動輒上萬片的市場規模，需要設備在維持鍍膜品質的同時，提供業界領先的單機產能效率。MPS 採用雙組濺鍍系統的高產能配置，可在同一腔體內同步進行兩種不同膜層的沉積，大幅縮短複雜膜系的整體製程時間。

搭配兩組大永自製 ICP 感應耦合電漿源，MPS 能在高鍍率條件下仍維持優異的氣體解離效率與膜質緻密性。雙 ICP 配置不僅提升產能，更確保大面積基板上的反應一致性，有效避免大尺寸面板常見的中心／邊緣膜質差異問題。對於手機保護玻璃、觸控面板等大規模量產應用，MPS 提供業界最佳的「產能 × 品質」平衡。

大永最新自研超硬膜技術｜莫氏硬度可達 7、鋼絲絨耐磨 10000 次

手機面板每天遭遇手指觸控數千次、口袋摩擦、鑰匙刮碰等嚴苛使用情境，鍍膜表面的硬度與耐磨性能直接決定產品的長期使用體驗與品牌信譽。傳統濺鍍光學膜雖優於蒸鍍，但在面對日益嚴苛的消費市場規範時，仍有提升空間。

MPS 整合大永最新自主研發的超硬膜技術 —— 透過分離式活化反應濺鍍架構、ICP 高密度電漿源、與獨家膜層結構設計的精準配合，沉積出的薄膜可達莫氏硬度 7（同等天然石英晶體硬度等級），並通過嚴苛的鋼絲絨耐磨耗 10000 次循環測試，膜層完整性無明顯衰減。此一突破性的硬度表現，讓 MPS 沉積的手機面板鍍膜在耐刮性、抗摩擦損傷方面達到業界領先水準，大幅延長手機保護玻璃的使用壽命，為手機品牌客戶提供強而有力的產品差異化賣點。

除超硬膜製程之外，MPS 同樣可通過 9H 鉛筆硬度測試、橡皮擦磨擦測試、百格附著力測試等消費電子最嚴苛的可靠度規範，從根本解決傳統反應性濺鍍的靶毒化問題，確保大規模量產下的鍍率穩定與膜質一致，適合手機觸控面板長期高頻使用環境。

大面積基板均勻性｜手機面板量產的關鍵優勢

手機／平板觸控面板的尺寸日益大型化，從 5 吋手機到 13 吋平板，對大面積基板的鍍膜均勻性提出極致挑戰。MPS 採用公轉式平面治具設計，專為大面積平面基板優化，結合分離式靶材區的均勻濺鍍流場，確保大尺寸基板的中心至邊緣鍍膜均勻性。

MPS 的全載點膜厚均勻性可控制在 ±1.5% 以內，確保每片面板的光學特性（色彩表現、反射率、穿透率）高度一致，大幅提升量產良率與品牌一致性。對於需要在「大面積、高產能、高一致性」三方取得平衡的手機面板量產應用，MPS 提供業界最完整的解決方案。