在全球半導體供應鏈當中，台灣是不可或缺的一環，各世界級大廠對製程技術及產品品質的需求提升，各家供應商也不斷研發新技術來取得新的解決方案，以搶占市場先機。以往封裝製程在靜電防護上的難題， 透過靜電消散類鑽碳(Electro-Static Dissipative Diamond-Like Carbon，ESD-DLC)膜層鍍膜技術可得到解決。 什麼是ESD-DLC靜電消散類鑽碳鍍膜技術？ 隨著10奈米以下半導體元件奈米尺寸微縮化，其對靜電耐受能力日趨降低，晶片封裝過程中，可能遭受靜電損壞、影響良率，因此先進封裝製程對靜電耐受力有迫切的方案需求。 ESD-DLC鍍膜技術為多層結構設計、非晶結構耐磨性佳，搭載改良式磁濾電弧離子系統，以高化學穩定性，達到卓越的抗靜電及良好的抗酸鹼成果，可以整體延長封測載板3倍以上的使用壽命，取代舊式不耐鹼洗的硬陽處理方式，改善因碰撞或其他清洗因素造成膜層剝離，所形成的靜電防護破口。此表面改質技術將有助於先進封裝製程上帶來嶄新突破。 ESD-DLC鍍膜的技術優勢與應用 靜電消散類鑽碳（Electro-Static Dissipative Diamond-Like Carbon，ESD-DLC）膜層ESD-DLC透過特殊膜層結構設計，可客製化調控產品表面電性，在硬度、附著力、耐磨耗及耐化學腐蝕性方面皆具有優異表現，目前已通過產品應用驗證，大幅提高製程良率及產品使用壽命。 除了各式封測載板外，該先進表面改質技術ESD-DLC鍍膜技術並不影響產品原始尺寸，包括Reflow載板、Tray盤、機具滑軌等，對於靜電防護要求高或製程對於靜電敏感皆適用，也因此應用產業的範圍廣度涵蓋半導體、IC、封測、檢測、傳送設備和組件等，可望獲得LED 載盤、晶圓及IC封裝載盤等領域青睞，導入採用。 半導體塗層的未來展望 因應國際環保意識提升，國際大廠紛紛要求供應鏈符合綠色製程，以物理氣相沉積法（Physical vapor deposition，PVD）為基礎的真空高階鍍膜技術，可應用於LED載盤、晶圓及IC封裝載盤等高價值產品，對比傳統硬陽處理及鐵氟龍噴塗製程，具有高良率、低汙染、高附著力、可循環及低溫製程等特性，大永真空可協助廠商突破表面改質技術門檻，提升半導體產業國際競爭力，且已陸續通過產品應用驗證，搶進高階先進半導體市場。

市面上多彩的金屬手錶，它的色彩是如何製作的呢？金屬手錶的色彩是透過電鍍工藝產生，早期的水電鍍技術，利用電解的原理，在電鍍溶液中通以直流電，使金屬離子沉澱在工件的表面。現代普遍被使用的真空電鍍技術，則是採用物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)原理，在真空狀態下注入氣體，將靶材分離成分子，使導電的工件吸附，形成一層均勻、光滑的表面膜層。在塗層的硬度、表面的抗污性、性能的耐用度，真空電鍍的表現都大幅精進，對於環境也更加友善。 手錶的塗層加工 一般而言物理氣相沉積(PVD)分為三種，分別是真空蒸鍍(Vacuum Evaporation)、濺鍍(Sputtering)、離子鍍(Ion Plating)。其中離子鍍(Ion Plating)被認為是附著性與持久性最佳的方式，它在製程中先以濺鍍形式清潔被鍍工件的表面，再以兼具真空蒸鍍與濺鍍的特性使被解離的物質與氣體附著在錶殼上，該製程沉積的膜層非常薄，不會影響錶殼的厚度，親膚性高。日系手錶品牌較常強調其使用IP技術，是提升手錶價值與美感的良好方式。 手錶塗層的主流 近年來精品錶的客群逐漸年輕化，設計越趨運動感，視覺上的呈現強烈而有活力。許多知名品牌如Breitling, BALL Watch, VULCAIN, CHOPARD等紛紛推出類鑽碳錶，顏色以黑色為主，其特點在於透過真空電鍍的進階製程-類鑽碳鍍膜(Diamond-like carbon, DLC)，產生接近於鑽石的非晶體結構碳元素，強化手錶表面的保護性，近期BVLGARI與G-SHOCK亦發表類鑽碳錶款。 Bvlgari Bvlgari系列腕錶。圖／Bvlgari Bvlgari的Bvlgari Bvlgari系列腕錶，整隻錶以DLC類鑽碳高耐磨鍍膜處理，中性化的純黑色設計十分有型。Octo Roma WorldTimer世界時區腕表，則有精鋼藍面款與DLC類鑽碳黑面款兩種款式，其中DLC類鑽碳款以41毫米黑色噴砂DLC類鑽碳處理精鋼表殼。 Octo Roma WorldTimer世界時區腕錶。圖／Bvlgari G-SHOCK以暮色中的東京都為意象，傳達城市的光明和喧囂，發表由錶殼至錶帶皆以紫色與藍色交錯的新設計。在螺旋式底蓋採類鑽碳塗層（DLC），將更耐用，於2021年9月份開賣。 G-SHOCK GMW-B5000 新款。圖/CASIO 類鑽碳鍍膜(DLC)的表層具有高硬度、耐腐蝕與低摩擦係數等特點，當然每個人的使用習慣不盡相同，不同的環境下耐用度多少有差異。但從精品品牌到價格相較親民的大眾品牌，都不約而同採用成本相比一般PVD高的類鑽碳鍍膜(DLC)，可見類鑽碳膜層的產生的優異性能受到認可並且日益被普及應用。 大永真空-DLC類鑽碳錶解決方案 適用設備 陰極電弧類鑽碳鍍膜機 案例分享 DahYoung Vacuum DLC類鑽碳鍍膜 × Bright.Cut 幾何雕刻工法，呈現台灣精湛的精品工藝。

大永真空「智慧監控實現於高密度電漿量產設備之製程技術開發計畫」榮獲「經濟部 A+企業創新研發淬鍊－國際創新研發合作計畫」核定 大永「智慧監控實現於高密度電漿量產設備之製程技術開發計畫」，引入國外先進智能化控制之獨家技術，加強大永於設備智能化之研發力道，開發具有智慧監控之高密度電漿量產薄膜設備，包括捲繞式鍍膜設備、批次式高功率脈衝磁控濺鍍設備，接軌工業4.0，使真空鍍膜設備及其產品朝向尖端高價值，帶動國內相關產業之發展，朝向國際市場通路。 真空電漿薄膜製程為當今科技發展的關鍵技術之一，從民生工業、半導體業，乃至物聯網及健康長照等，皆可見其於各大領域之應用。其中，先進的鍍膜系統及新穎鍍膜材料開發更謂奠定未來科技發展之基石。 在真空電漿薄膜製程中，高密度電漿製程所得之膜層，相較於傳統鍍膜製程，有著跳躍式之進步。因此如何將高密度電漿技術之基礎研究滲透到產業界應用，甚至使其具有高度自動化及智能化，來大幅提升整體製程再現性，是該產業近幾年來一直追求之目標。 目前台灣尚未有「鍍膜之智能化控制技術」引進並導入於高密度電漿量產鍍膜設備，大永自主研發團隊在電漿技術深耕已久，因而受到經濟部青睞，獲核「經濟部 A+企業創新研發淬鍊－國際創新研發合作計畫」。大永將透過此國際創新研發計畫，緊密結合德國Institute for Surface Technology (IOT), Technical University of Braunschweig、Fraunhofer IST、PLASUS以及逢甲大學電漿科技研究中心等國內外產學研究單位，為台灣真空鍍膜產業帶來科技突破。