• ARMS｜專為精密光學打造的光學濺鍍鍍膜機

除了持續深耕光學蒸鍍領域，大永真空研發團隊亦成功開發自有技術——活化反應濺鍍鍍膜機ARMS（Activated Reactive Magnetron Sputtering Coating Machine），將磁控濺鍍的特性創新導入高階光學膜製程。ARMS光學濺鍍鍍膜機採用腔體高速旋轉設計，巧妙分離金屬濺鍍與反應性氣體的交互影響，使基板能在金屬靶面與反應性電漿區間高速切換，實現金屬與氧化膜層的快速交替堆疊。此創新設計可長時間穩定運行，突破傳統反應性濺鍍製程因靶毒化而造成的二個主要缺點：低鍍率與靶材面異質輝光放電破壞膜質，大幅提升膜層品質與製程效率，為高階光學鍍膜應用帶來全新解方。

ARMS活化反應濺鍍鍍膜機透過將濺鍍過程與反應性氣體的交互作用分離，搭配腔體高速旋轉設計，使基板在運行中依序接觸靶材面與電漿區，實現金屬膜與氧化膜的快速切換與堆積。此一技術可支援長時間穩定運作，並具備三大關鍵優勢：

1. 可進行低溫濺鍍，適用於溫度敏感基材。
2. 搭載高效率的 ICP（感應耦合電漿）離子源，提升反應活性與鍍膜品質。
3. 有效降低鍍膜過程中的微粒生成，確保膜層均勻與表面潔淨度。

• 從平面到曲面，ARMS實現全方位光學膜層控制

ARMS具有靶材區與電漿源區，此電漿源區亦可稱為耦合電漿區。於製程中分別導入惰性氣體與活化後的反應性氣體，能降低靶材於濺鍍過程所受反應性氣體的影響，提升濺鍍穩定性，並維持薄膜的高品質與大面積均勻性。此外，濺鍍製程本身具備高分子動能與優異階梯覆蓋能力，讓 ARMS 在非平面基材上也能沉積出均勻穩定的膜層。此特性特別適合應用於自駕車產業之車載鏡頭與其他具3D凸面的基板類光學膜(AR/VR/MR) 等應用場景。

此特性特別適用於具高階幾何形貌要求的光學應用，例如自駕車用紅外線濾光片（IR Cut Filter）、車載鏡頭，以及 AR／VR／MR 等新興領域中所需的 3D 凸面光學鍍膜需求，展現極高的應用價值與發展潛力。

• 靈活配置與多層堆疊能力，全面升級光學濺鍍製程效能

大永真空將此濺鍍製程導入光學鍍膜應用設備，一方面引進濺鍍的優點，讓膜層可更加緻密與緊實，同時可以設計超過50層以上的super lattices形式的多層膜結構，腔體設計具有可調控多點靶位，可以相容更多種不同濺鍍材的金屬靶材，單靶與雙靶設計更加靈活運用，通入的製程氣體更可提前混和讓解離活化率更高，並有效改善反應性濺鍍的缺點，進一步賦予設備「高鍍率」、「高膜質」、「高穩定性」的性能。