電漿清洗雖行之有年，但近年來因產業結構異動而擴大應用，其藉由高溫或強電磁場使物質解離，釋放出紫外光，破壞樣品表面上油脂或油膏的有機鍵結，此時腔體中所通入的反應氣體離化產生正負離子、自由基及電子，這些粒子會與油汙的鍵結結合，形成氣態之化合物如CO₂和H₂O，再藉由幫浦抽離腔體。

電漿清洗優點在於清潔完的樣品不需進行烘烤，不會造成環境汙染，且電漿清洗機操作簡單，可大幅降低傳統溶劑清洗所需之人工、耗料成本，對於玻璃或高分子都有極佳的效果。

• 電漿系統穩定，且電極設計具均勻的電漿分佈，清洗素材無死角
• 高彈性之氣體供給系統，提高清潔效果
• 精簡的操作介面，且即時顯示設備系統狀態，設備問題一目瞭然
• 自動進出料系統設計，降低人力成本

金屬表面氧化還原，玻璃及高分子素材表面處理、鍍膜前處理等。

以車燈產業應用為例：

舊製程：塑膠射出->靜電除塵->溶劑清洗->底漆->鍍鋁->面漆
新製程：塑膠射出->靜電除塵->電漿清洗->底漆->鍍鋁->面漆

電漿清洗效果

人工溶劑清洗與電漿清洗機比較