蒸濺兩用鍍膜機
型號 :
DYSP
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DYSP系列為立式雙門蒸／濺兩用真空鍍膜機，獨特的蒸濺兩用設計，產品運用範圍更加廣泛，本機腔體直徑為1.3~1.8m，腔體高度為1.8m，適合各種生產規模的客戶使用。 本機型適用於一般的蒸／濺鍍材料，包括鋁、銅、鉻、不銹鋼和其他靶材，取決於最終產品和相對應的膜層要求。大永經過長時間研究及改進，並通過多家大型知名企業長期及大量的採用，製造出最適合生產線使用的機型。DYSP系列提供附著性、高寬深比、工件曲面膜厚不均等問題的解決方案，將有助於提高產能效率，提高產品的品質。 |
| 型號 |
DYSP 1300 |
DYSP 1600 |
DYSP 1800 |
| 腔體直徑(mm) |
1300 mm |
1600 mm |
1800 mm |
| 腔體高度(mm) |
1850 mm |
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| 自轉軸數 |
一門 6 軸 |
一門 14 軸 |
一門 6/8 軸 |
| 有效鍍膜直徑(mm) |
350 |
280 |
500/430 |
| 有效鍍膜高度(mm) |
1500 |
1500 |
1350 |
| 鍍膜方式 |
濺鍍 PVD |
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| 極限真空(Torr) |
5x10-6Torr |
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| 抽氣效率 |
2x10-4Torr ≦ 5min |
2x10-5Torr ≦ 8min |
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| 需求電源(kVA) |
3 相電源 380V 100kVA |
3 相電源 380V 130kVA |
3 相電源 380V 150kVA |
- 操作簡單：延續DYC系列的優點，採用觸控屏幕及One Touch設計。
- 擴充佳：採用雙濺鍍靶區及多蒸鍍源設計，擴充性極佳。
- 不污染：特殊蒸濺鍍系統設計，不會互相污染。
- 效率：抽氣速率快，同一生產週期內可使用蒸鍍及濺鍍功能。
- 均勻：延續NCVM系列的設計，膜厚均勻穩定。
- 環保：無廢水、廢氣及噪音的污染。
- 節能：幫浦變頻設計，節能並降低成本。
DYSP系列可應用於3C電子通訊產品，如行動電話、PDA、GPS、NB以及醫療器材、晶片、投影機等防電磁波干擾。
- 應用範例：凹凸曲面反射鏡、防制電磁波輻射干擾(Electromagnetic Interference；EMI)
- 技術應用，主要針對筆記型電腦、手機及其他各類3C產品的防電磁波干擾。
