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爐內塗佈鍍膜機

型號 : DYPE

有鑑於全球汽車市場蓬勃發展及全球環境保護趨勢,大永真空以節能減碳的概念為出發點,推出了結合PVD及PECVD技術的新製程之DYPE-經濟型爐內塗佈真空鍍膜機。其半製程是在有底塗的基材上蒸鍍上一層鋁(傳統的PVD製程)接著將monomer(化學聚合物)導入氣體,透過電漿Plasma,讓它產生裂解與聚合,把不需要的成份透過pump排出,留下的則形成結構緻密的保護層,此膜層具有高阻隔性(耐熱耐酸鹼)及親/疏水性(PECVD製程)。此皆是在同一個真空腔體中分別執行PVD及PECVD的鍍膜製程。



排氣系統

單排

雙擴散系統

型號

DYPE 1300

DYPE 1600

DYPE 1800

DYPE 1800 

Dual-DP

DYPE 1800 

十字電極

腔體直徑

1300mm(ø)

1600mm(ø)

1800mm(ø)

1800mm(ø)

腔體高度

1850mm(H)

1850mm(H)

自轉軸數

一門6

一門6/8

一門6/8

一門6/8

有效鍍膜直徑

350mm

480/400mm

560/460mm

560/460mm

有效鍍膜高度

1500mm(H)

1500mm(H)

鍍膜方式

蒸鍍PVD

蒸鍍PVD

蒸鍍源數量

28

28

56 

蒸鍍電源功率(kW)

30kW

30kW

60kW

電漿聚合

MF PECVD Process

MF PECVD Process

極限真空(Torr)

5 x 10-6 Torr

5 x 10-6 Torr

製程週期

18/週期

16/週期

18/週期

需求電源

(3相電源 380V)

90kVA

95kVA

115kVA

125kVA


  1. 設計PECVD雙反應區:提高Monomer解離率及提升膜厚均勻度,並縮短製程時間。
  2. 最佳化排氣系統:縮短管路長度,搭配知名廠牌Pump達到最佳排氣效果。
  3. 無暴露於真空環境中之閥桿:免除汙染物附著於閥桿表面,降低腔體漏氣之機會。
  4. 觸控電腦IPC:可儲存較複雜的製程參數及歷史紀錄,並能執行網路遠端控制,Trouble Shooting零時差。

環境模擬測試:



膜層反射利率:

dype-performance-test-result.jpg


產品鍍膜效率:

dype-coating-rate-result.jpg

主要應用產品:車燈反射罩、車燈內部框板和車燈內飾品等。