TCRC｜為透明導電膜量產打造的大幅寬捲對捲鍍膜平台

為透明導電膜量產量身打造的大幅寬捲對捲鍍膜平台

透明導電氧化物（Transparent Conductive Oxide, TCO）薄膜 —— 以 ITO（氧化銦錫）為代表 —— 是現代光電產業的核心元件，廣泛應用於觸控面板、LCD／OLED 顯示器、太陽能電池、電子紙、智慧玻璃等多元領域。隨著終端產品不斷朝向大尺寸、高良率、低成本方向發展，捲對捲（Roll-to-Roll）製程已成為 ITO 軟性導電膜量產的主流選擇。

大永真空 TCRC 透明導電捲對捲鍍膜機（Transparent Conductive R2R Coater）是針對 ITO 與其他透明導電氧化物量產所優化的大幅寬捲對捲設備。TCRC 採用 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅寬平台、德國先進電漿監控技術、多靶座彈性配置、與高精度張力控制系統，為觸控面板廠、軟性電子廠、太陽能模組廠提供業界領先的透明導電膜量產解決方案。

完整幅寬光譜｜對應大尺寸量產經濟規模

觸控面板與軟性顯示器的尺寸不斷擴大 —— 從 6 吋手機螢幕到 27 吋觸控顯示器、再到大尺寸電子白板與智慧玻璃，終端產品對「大尺寸 ITO 導電膜」的需求持續增加。TCRC 提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五種幅寬選擇，涵蓋從中型量產到最大尺寸量產需求，可在單次製程中完成大尺寸基材的鍍膜，大幅提升量產經濟性與單片成本競爭力。

大幅寬鍍膜的核心技術挑戰是「全幅均勻性控制」 —— 傳統大幅寬 R2R 製程常面臨邊緣效應、批次差異、電漿不穩等問題。TCRC 導入德國先進電漿即時監控技術，可即時掌握 2000 mm 全幅範圍內的電漿狀態，使 ITO 鍍膜均勻度穩定控制於 ±5% 以下，有效解決大幅寬製程的傳統痛點。

ITO 製程深度優化｜低電阻、高穿透、量產級一致性

ITO 薄膜的兩個核心光電特性 —— 薄片電阻（Sheet Resistance）與可見光穿透率（Visible Light Transmittance） —— 直接決定終端產品的觸控靈敏度與顯示品質。TCRC 結合 MF（中頻）電源與精準的反應性氣體控制，可沉積出薄片電阻 <30 Ω/□、光穿透率 ≧ 80% 的高品質 ITO 薄膜，完全達到觸控面板與顯示器產業的量產規範。

TCRC 的多靶座彈性配置（平面靶 + 旋轉靶）讓客戶可依生產需求選擇最適配置 —— 旋轉靶提供長壽命優勢與材料利用率，適合連續量產；平面靶則提供精準膜厚控制，適合特殊應用。對於需要在「電性、光學特性、量產效率、設備折舊」四方平衡的觸控與顯示器產業，TCRC 提供業界最完整的解決方案。

HiPIMS 選配｜高離子化率提升膜質與耐彎折性

傳統 ITO 薄膜在彎折環境下容易產生微裂紋，影響軟性顯示器、可摺疊裝置等新興應用的長期可靠度。TCRC 可選配 HiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）高功率脈衝電源，透過高離子化率金屬電漿，顯著提升 ITO 膜層的緻密度與附著力，大幅改善薄膜在彎折、拉伸環境下的可靠度表現。

此一 HiPIMS 升級選項，讓 TCRC 不僅滿足傳統剛性 ITO 應用，更能對應軟性顯示、可摺疊裝置、可穿戴電子等次世代應用的高階需求，為大永客戶提供完整的「ITO 製程升級路徑」。