• Transparent Conductive R2R Coater

Transparent Conductive R2R Coater

型號 : TCRC

TCRC|為透明導電膜量產打造的大幅寬捲對捲鍍膜平台

Transparent Conductive R2R Coater|Large-Format Sputtering for ITO and TCO Films

為透明導電膜量產量身打造的大幅寬捲對捲鍍膜平台

透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)薄膜 —— 以 ITO(氧化銦錫)為代表 —— 是現代光電產業的核心元件,廣泛應用於觸控面板、LCD/OLED 顯示器、太陽能電池、電子紙、智慧玻璃等多元領域。隨著終端產品不斷朝向大尺寸、高良率、低成本方向發展,捲對捲(Roll-to-Roll)製程已成為 ITO 軟性導電膜量產的主流選擇。

大永真空 TCRC 透明導電捲對捲鍍膜機(Transparent Conductive R2R Coater)是針對 ITO 與其他透明導電氧化物量產所優化的大幅寬捲對捲設備。TCRC 採用 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅寬平台、德國先進電漿監控技術、多靶座彈性配置、與高精度張力控制系統,為觸控面板廠、軟性電子廠、太陽能模組廠提供業界領先的透明導電膜量產解決方案。

完整幅寬光譜|對應大尺寸量產經濟規模

觸控面板與軟性顯示器的尺寸不斷擴大 —— 從 6 吋手機螢幕到 27 吋觸控顯示器、再到大尺寸電子白板與智慧玻璃,終端產品對「大尺寸 ITO 導電膜」的需求持續增加。TCRC 提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五種幅寬選擇,涵蓋從中型量產到最大尺寸量產需求,可在單次製程中完成大尺寸基材的鍍膜,大幅提升量產經濟性與單片成本競爭力。

大幅寬鍍膜的核心技術挑戰是「全幅均勻性控制」 —— 傳統大幅寬 R2R 製程常面臨邊緣效應、批次差異、電漿不穩等問題。TCRC 導入德國先進電漿即時監控技術,可即時掌握 2000 mm 全幅範圍內的電漿狀態,使 ITO 鍍膜均勻度穩定控制於 ±5% 以下,有效解決大幅寬製程的傳統痛點。

ITO 製程深度優化|低電阻、高穿透、量產級一致性

ITO 薄膜的兩個核心光電特性 —— 薄片電阻(Sheet Resistance)與可見光穿透率(Visible Light Transmittance) —— 直接決定終端產品的觸控靈敏度與顯示品質。TCRC 結合 MF(中頻)電源與精準的反應性氣體控制,可沉積出薄片電阻 <30 Ω/□、光穿透率 ≧ 80% 的高品質 ITO 薄膜,完全達到觸控面板與顯示器產業的量產規範。

TCRC 的多靶座彈性配置(平面靶 + 旋轉靶)讓客戶可依生產需求選擇最適配置 —— 旋轉靶提供長壽命優勢與材料利用率,適合連續量產;平面靶則提供精準膜厚控制,適合特殊應用。對於需要在「電性、光學特性、量產效率、設備折舊」四方平衡的觸控與顯示器產業,TCRC 提供業界最完整的解決方案。

HiPIMS 選配|高離子化率提升膜質與耐彎折性

傳統 ITO 薄膜在彎折環境下容易產生微裂紋,影響軟性顯示器、可摺疊裝置等新興應用的長期可靠度。TCRC 可選配 HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)高功率脈衝電源,透過高離子化率金屬電漿,顯著提升 ITO 膜層的緻密度與附著力,大幅改善薄膜在彎折、拉伸環境下的可靠度表現。

此一 HiPIMS 升級選項,讓 TCRC 不僅滿足傳統剛性 ITO 應用,更能對應軟性顯示、可摺疊裝置、可穿戴電子等次世代應用的高階需求,為大永客戶提供完整的「ITO 製程升級路徑」。

規格表Specifications

Model TCRC-900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000
產品線 捲對捲鍍膜設備 - 透明導電捲對捲鍍膜機
幅寬規格 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅寬|對應主流量產規格
基材厚度 6~50 μm|涵蓋超薄至中厚 PET、PI、PEN 等光學薄膜基材
鍍膜技術 磁控濺射(Magnetron Sputtering)|可整合 PECVD 選配
電源系統 MF(中頻)為主|可選配 DC、HiPIMS 高功率脈衝電源
靶座數量 多靶位設計|平面靶 + 旋轉靶彈性配置,旋轉靶提供長壽命優勢
電漿監控 德國先進電漿即時監控技術|確保大幅寬製程穩定性
膜厚均勻性 ± 5% 以內(2000 mm 全幅範圍)
張力控制 高精度張力控制系統|對應超薄至中厚光學基材高速走帶
主力鍍材 ITO(氧化銦錫)|IZO、AZO、FTO 等替代透明導電氧化物
薄片電阻 可達 <30 Ω/□(典型 ITO 規格,依膜厚與後處理可優化)
光穿透率 ≧ 80%(可見光全波段,典型 ITO 規格)
極限真空 ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr
操作模式 全自動 / 手動切換|24/7 連續量產設計
選配模組 PECVD / HiPIMS 電源 / 多元前處理 / 線上電阻量測

※ 上述為標準配置,實際規格可依客戶應用需求客製化調整。

01完整幅寬光譜|多元量產規模對應

  • 大幅寬平台:提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五種幅寬選擇,對應主流大尺寸量產規格。
  • 經濟規模:大幅寬鍍膜大幅提升單批次產能,降低單片產品的設備折舊成本。
  • 彈性配置:客戶可依產品結構與量產規模選擇最適幅寬,實現最佳投資效益。

02德國電漿即時監控|大幅寬均勻性保證

  • 即時監控:導入德國先進電漿監控技術,即時掌握全幅電漿狀態。
  • 全幅 ±5%:2000 mm 全幅範圍均勻度穩定控制於 ±5% 以下,優於業界水準。
  • 解決邊緣效應:有效解決傳統大幅寬 R2R 製程的邊緣效應與批次差異問題。

03ITO 製程深度優化

  • 低薄片電阻:可達 <30 Ω/□ 的低電阻規格,滿足高靈敏度觸控應用需求。
  • 高光穿透率:可見光全波段 ≧ 80% 穿透率,確保顯示器產品的視覺品質。
  • 量產級一致性:批次間光電特性高度一致,大幅提升下游產品的良率管控。

04多靶座彈性配置

  • 平面 + 旋轉靶:平面靶提供精準膜厚控制,旋轉靶提供長壽命與高材料利用率。
  • 連續量產設計:旋轉靶設計適合 24/7 連續量產,降低換靶停機時間。
  • 替代材料支援:除 ITO 外,亦支援 IZO、AZO、FTO 等替代透明導電氧化物。

05HiPIMS 選配|軟性 ITO 升級路徑

  • HiPIMS 電源:選配高功率脈衝電源,提升 ITO 膜層緻密度與附著力。
  • 耐彎折表現:改善軟性 ITO 在彎折、拉伸環境下的可靠度,適用可摺疊裝置。
  • 次世代應用:為客戶提供從傳統剛性 ITO 到次世代軟性 ITO 的完整升級路徑。

TCRC 結合完整幅寬光譜(900~2000 mm)、德國電漿監控、ITO 製程深度優化與 HiPIMS 升級能力,為各類透明導電膜量產應用提供業界領先的捲對捲鍍膜解決方案,廣泛應用於觸控、顯示、太陽能、軟性電子等多元光電產業。

01觸控面板量產 Touch Panel Mass Production

觸控面板是 ITO 薄膜最大規模的應用 —— 從智慧型手機、平板電腦、筆電觸控板、到大尺寸觸控顯示器,每年全球出貨量達數十億片。TCRC 的大幅寬平台與低電阻 ITO 製程,完美對應觸控面板產業對「大尺寸、高靈敏、量產級」的核心需求。

應用產品

智慧型手機觸控面板、平板電腦觸控螢幕、筆電觸控板、車載中控觸控面板、大尺寸觸控顯示器、智慧白板、互動數位看板、商用 POS 觸控螢幕

常見鍍膜

ITO 透明導電膜、IZO/AZO 替代透明導電膜、觸控感應線路膜、ITO 多層複合導電膜

02顯示器與面板產業 Display Panel Industry

LCD、OLED、Mini/Micro LED、電子紙等各類顯示器,都需要 ITO 透明電極作為驅動電路的核心元件。TCRC 的高均勻度與量產一致性,確保大尺寸顯示面板的色彩表現與長期穩定性,是顯示器產業的可靠選擇。

應用產品

LCD 顯示面板、OLED 顯示面板、Mini/Micro LED 顯示模組、電子紙顯示器、車載顯示面板、智慧家居顯示模組、商用大尺寸顯示螢幕

常見鍍膜

顯示器級 ITO 透明電極、OLED 陰極/陽極導電膜、電子紙背板電極、特殊顯示器透明導電膜

03太陽能電池 Solar Cells

薄膜太陽能電池(CIGS、CdTe、有機太陽能、鈣鈦礦太陽能)需要透明導電氧化物作為前電極,以同時實現「光線穿透 + 電流收集」的雙重功能。TCRC 為新一代軟性太陽能電池量產提供關鍵製程支援。

應用產品

CIGS 薄膜太陽能電池、CdTe 薄膜太陽能、有機太陽能電池(OPV)、鈣鈦礦太陽能電池、軟性太陽能模組、建築一體化太陽能(BIPV)

常見鍍膜

ITO 太陽能前電極、AZO 替代電極、FTO 透明導電膜、特殊高遷移率 TCO 薄膜

04軟性電子與可摺疊裝置 Flexible & Foldable Electronics

可摺疊手機、軟性顯示器、可穿戴電子、軟性太陽能等次世代電子產品,需要在彎折環境下仍維持導電與光學性能的軟性 ITO 薄膜。TCRC 的 HiPIMS 升級選項,為軟性電子產業提供高耐彎折的 ITO 解決方案。

應用產品

可摺疊手機螢幕、軟性 OLED 顯示器、可穿戴電子裝置、軟性觸控感應器、捲曲式顯示器、軟性電子標籤、智慧服飾感應元件

常見鍍膜

高耐彎折 ITO 軟性膜、複合導電軟性膜、ITO/金屬奈米線複合膜、特殊機能性軟性導電膜

05智慧玻璃與功能性透明導電膜 Smart Glass & Functional TCO

建築用智慧調光玻璃、汽車智慧天窗、低輻射節能玻璃(Low-E)、電子可控變色窗等新興應用,使用透明導電膜作為電控變色或熱反射的關鍵元件。TCRC 的大幅寬與多元材料能力,適合此類新興應用的量產需求。

應用產品

建築用智慧調光玻璃、汽車智慧天窗、Low-E 節能建築玻璃、電致變色窗(EC Window)、PDLC 智慧調光膜、加熱透明玻璃、抗靜電顯示器膜

常見鍍膜

Low-E 節能膜、電致變色 ITO 膜、加熱導電膜、抗靜電 ITO 薄膜、特殊功能性 TCO 薄膜

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