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Optical Lens Sputter

型號 : OLS

OLS|為光學鏡頭打造的高緻密濺鍍解決方案

Optical Lens SputterHigh-Density Sputtering for Precision Optical Lenses

為光學鏡頭量身打造的高精密濺鍍平台

從車載 ADAS 鏡頭、安防監控鏡頭、機器視覺檢測鏡頭、到工業精密成像系統,光學鏡頭已成為現代視覺化應用的關鍵元件。在嚴苛的使用環境下 —— 車外的高溫紫外線、戶外的鹽霧灰塵、工業現場的化學氣體與機械磨耗 —— 傳統蒸鍍鏡頭的薄膜常面臨附著力衰退、光譜漂移、表面刮傷等問題,直接影響光學系統的長期可靠性。

大永真空 OLS 光學鏡頭濺鍍機(Optical Lens Sputter)是基於大永自主研發的 ARMS 高精密濺鍍技術平台,針對高耐用度光學鏡頭應用所優化的專用設備。OLS 採用分離式活化反應濺鍍架構與 ICP 感應耦合電漿源,在玻璃光學鏡頭上沉積出膜質緻密、附著力強、環境穩定性優異的高階光學薄膜,為車載光學、安防、工業檢測等高可靠度應用提供業界領先的鍍膜方案。

分離式活化反應濺鍍|蒸鍍無法達到的膜質緻密度

濺鍍製程相較於傳統蒸鍍,最大的優勢在於高動能粒子轟擊基板的能量遠高於蒸鍍,使薄膜原子緊密堆疊、結構緻密、附著力顯著提升。OLS 採用大永獨家研發的分離式活化反應濺鍍(Activated Reactive Magnetron Sputtering)架構,將金屬濺鍍區與反應性電漿區有效隔離,從根本解決傳統反應性濺鍍的靶毒化(Target Poisoning)問題。

此分離式架構不僅維持了濺鍍的高鍍率與長時間穩定運行,還能在金屬層與氧化層的快速交替堆疊中實現精密膜厚控制。OLS 沉積的光學薄膜可通過嚴苛的車規級可靠度測試(高溫高濕、熱衝擊、鹽霧、機械振動),適合長期暴露於戶外與工業環境的高耐用光學鏡頭應用。

ICP 感應耦合電漿源|高效解離、優異膜質、長期穩定

OLS 標配大永自製的 ICP 感應耦合電漿源(Inductively Coupled Plasma),提供業界領先的氣體解離與反應效率。ICP 電漿源產生的高密度活化反應氣體,能與金屬離子高效反應形成緻密的氧化物/氮化物薄膜,確保光學薄膜的折射率精準度與光譜表現的長期穩定性。

相較於傳統 RF 或微波電漿源,ICP 提供更高的電漿密度、更均勻的反應區覆蓋、以及更佳的長期穩定性。此一電漿源設計使 OLS 能在大批量量產條件下,持續產出高品質的光學薄膜,批次間的光譜表現高度一致。

大永最新自研超硬膜技術|玻璃光學鏡頭達莫氏硬度 7

光學鏡頭的最外層鍍膜直接面對使用環境的摩擦、灰塵、刮傷等物理損傷 —— 車載鏡頭遭遇路面飛石撞擊、安防鏡頭長期暴露於戶外、工業檢測鏡頭頻繁接觸冷卻液與粉塵 —— 傳統光學薄膜的硬度往往無法滿足這類嚴苛應用對長期耐用性的需求。

OLS 整合大永最新自主研發的超硬膜技術,針對玻璃光學鏡頭基板進行製程優化,沉積出的薄膜可達莫氏硬度 7(同等天然石英晶體硬度等級),並通過嚴苛的鋼絲絨耐磨耗 10000 次循環測試。此一突破性的硬度規格,讓 OLS 處理的光學鏡頭在耐刮性、抗摩擦損傷方面達到業界領先水準,大幅延長鏡頭在嚴苛使用環境下的使用壽命,為車載、安防、工業等對長期可靠度要求極高的應用提供強而有力的差異化競爭力。

3D 曲面均勻鍍膜|完美適配光學鏡頭幾何複雜性

光學鏡頭普遍為球面、非球面或自由曲面結構,鍍膜均勻性對成像品質至關重要。OLS 結合濺鍍製程本身的高動能與優異階梯覆蓋(Step Coverage)能力,搭配公自轉行星式治具設計,可在非平面與 3D 曲面光學鏡頭上,沉積出均勻、穩定且可重複的光學薄膜。

OLS 的鍍膜均勻性可控制在 ±1% 以內,配合大永獨家的鏡頭曲率優化演算法與客製化治具設計,可滿足從消費級鏡頭到高階工業檢測鏡頭的全方位量產需求。對於需要在高耐久性、高光學品質、高量產一致性三方面取得平衡的客戶,OLS 提供業界最全面的解決方案。

規格表Specifications

Model OLS-1650
產品線 高精密光學濺鍍鍍膜設備 - 光學鏡頭濺鍍機
腔體規格 Ø1650 mm 製程腔體|1650 平台
基板材質 玻璃光學鏡頭(BK7、Fused Silica、藍寶石、各類光學玻璃)|塑膠鏡頭可選配適配
鍍膜技術 分離式活化反應磁控濺鍍(ARMS-based)|金屬區與反應區分離,突破靶毒化問題
濺鍍系統 4 組濺鍍系統
電漿源 1 組大永自製 ICP 感應耦合電漿源
治具設計 公自轉行星式治具|專為光學鏡頭曲率與量產需求優化
膜厚均勻性 ± 1% 以內(全載點)
膜質特性 高緻密濺鍍膜|附著力強、耐磨耗、環境穩定性優於蒸鍍
超硬膜技術 大永最新自研超硬膜製程(玻璃基板)|莫氏硬度可達 7|鋼絲絨耐磨耗 10000 次測試
可成膜材料 氧化物(SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、Al₂O₃)、金屬(Al、Cr、Ti、Ag)、氮化物(Si₃N₄)
極限真空 LL Chamber ≦ 8 × 10⁻³ Torr|PR Chamber ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr
操作模式 IPC 全自動/手動模式
選配模組 第 2 組 ICP/AF 模組/低溫製程模組/客製治具

※ 上述為標準配置,實際規格可依客戶應用需求客製化調整。

01分離式活化反應濺鍍架構

  • 靶毒化解決:金屬濺鍍區與反應性電漿區有效隔離,從根本解決傳統反應濺鍍的靶毒化問題。
  • 高鍍率長運行:高速旋轉腔體設計,兼顧高鍍率與長時間穩定運行,適合 24/7 量產需求。
  • 高緻密膜質:高動能濺鍍粒子在鏡頭表面緊密堆疊,膜質緻密度遠優於傳統蒸鍍。

02ICP 感應耦合電漿源

  • 高密度電漿:大永自製 ICP 電漿源,提供業界領先的電漿密度與氣體解離效率。
  • 光學特性穩定:ICP 確保氧化物/氮化物薄膜的折射率精準與光譜表現長期穩定。
  • 批次間一致:高密度均勻電漿確保大批量量產的批次間光譜一致性。

03大永自研超硬膜|玻璃光學鏡頭達莫氏硬度 7

  • 莫氏硬度 7:大永最新自研超硬膜技術,玻璃基板上膜層硬度可達莫氏硬度 7,同等天然石英晶體等級。
  • 鋼絲絨 10000 次:通過鋼絲絨耐磨耗 10000 次循環測試,膜層完整性無明顯衰減,業界領先。
  • 耐刮抗損:適合車載、戶外、工業等高摩擦損傷風險的鏡頭應用,大幅延長鏡頭使用壽命。

04車規級耐候性|長期穩定不容妥協

  • 高溫高濕測試:通過 85°C/85% RH 500 小時測試,適合車載與戶外應用。
  • 熱衝擊測試:可通過 -40°C~+85°C 熱衝擊循環測試,滿足汽車產業可靠度標準。
  • 鹽霧耐受:通過鹽霧噴霧測試,適用於海岸、戶外、工業現場等嚴苛環境。

053D 曲面均勻鍍膜

  • 高動能濺鍍:濺鍍粒子的高動能與優異階梯覆蓋能力,適合非平面光學鏡頭鍍膜。
  • 公自轉治具:行星式治具設計確保各種曲率光學鏡頭的批次量產均勻性。
  • 膜厚均勻 ±1%:全載點膜厚均勻性可控制在 ±1% 以內,確保光學系統的成像品質。

06低微粒 + 多層膜能力

  • 低微粒製程:分離式架構與優化流場設計,有效抑制微粒生成,提升鏡頭表面潔淨度。
  • 多層膜支援:可設計超過 50 層多層膜結構,滿足複雜光學設計需求。
  • 彈性靶位配置:腔體支援單靶/雙靶彈性配置,可依不同膜系設計需求調整。

OLS 結合分離式活化反應濺鍍、ICP 高密度電漿源、與 3D 曲面均勻鍍膜能力,為各類高耐用度光學鏡頭應用提供業界領先的濺鍍解決方案,廣泛應用於車載光學、安防監控、工業檢測、機器視覺等高可靠度市場。

01車載光學鏡頭 Automotive Optics

車載光學鏡頭(ADAS、自動駕駛、車內監控)是當今汽車產業成長最快的光學應用,需通過嚴苛的車規級可靠度測試(-40°C~+85°C、高溫高濕、鹽霧、機械振動)。OLS 的高緻密濺鍍膜質與優異環境耐受性,是車用光學供應鏈的可靠選擇。

應用產品

ADAS 前視/後視/環景鏡頭、自駕車多目鏡頭模組、車內 DMS 駕駛監控鏡頭、車內 OMS 乘客監控鏡頭、無人車光學感測鏡頭、車載夜視鏡頭

常見鍍膜

車規級寬頻抗反射膜(BBAR)、IR 透過/截止濾光片、高耐久性反射膜、紅外線增透膜、雙波段濾光片

02安防監控鏡頭 Surveillance & Security

安防監控鏡頭需在 24/7 連續運作下維持光學品質,且常遭遇日夜溫差、灰塵、濕氣等環境挑戰。OLS 的高耐磨濺鍍膜質與長期穩定性,完美對應安防產業對長壽命、高可靠度的核心需求。

應用產品

IP 網路攝影機、戶外監控攝影機、夜視紅外鏡頭、人臉辨識鏡頭、車牌辨識鏡頭、智慧城市監控鏡頭、防爆監控鏡頭

常見鍍膜

可見光/近紅外雙頻段抗反射膜、IR-Cut 濾光片、高反射夜視膜、防霧防潮鍍膜、特殊波段濾光膜

03工業檢測與機器視覺 Machine Vision & Industrial Inspection

工業 4.0 時代,自動光學檢測(AOI)、機器視覺、半導體晶圓檢測等應用對光學鏡頭的解析度、光譜純度、長期穩定性有極高要求。OLS 的高緻密膜質與多層膜能力,滿足工業檢測級鏡頭的嚴苛需求。

應用產品

AOI 自動光學檢測鏡頭、半導體晶圓檢測鏡頭、PCB 檢測鏡頭、工業機器人視覺鏡頭、3D 結構光感測鏡頭、產線品質檢測鏡頭

常見鍍膜

高解析度抗反射膜、特殊波段濾光膜、高均勻性增透膜、低色差光學鍍膜、工業級耐久膜系

04高階消費電子鏡頭 Premium Consumer Optics

高階智慧型手機鏡頭、藍寶石玻璃鏡頭保護貼、消費級無人機光學鏡頭等應用,對鏡頭的硬度、耐刮性、視覺品質有日益升高的要求。OLS 整合大永最新自研超硬膜技術——玻璃基板上達莫氏硬度 7、通過鋼絲絨耐磨 10000 次測試——可賦予鏡頭業界領先的耐用性能,為高階消費品牌提供強而有力的產品差異化賣點。

應用產品

藍寶石玻璃鏡頭保護貼、高階旗艦手機鏡頭、無人機光學模組、運動相機(GoPro 級)鏡頭、智慧家居鏡頭、寵物攝影鏡頭

常見鍍膜

大永超硬膜(莫氏硬度 7,玻璃基板)、高硬度增透膜(Anti-Reflection Hardened)、藍寶石專用 AR 膜、抗刮鏡頭保護膜、特殊增色膜、AF 整合鏡頭膜系

05專業光學與雷射元件 Professional & Laser Optics

雷射加工、光纖通訊、生醫光學等專業應用,對光學鏡頭/鏡片的特定波長性能、雷射損傷閾值、長期穩定性有嚴格要求。OLS 的高緻密膜質與精密多層膜能力,可滿足此類高階應用。

應用產品

雷射加工鏡片、光纖通訊鏡頭、醫療內視鏡光學元件、雷射雷達(LiDAR)接收端鏡片、科學儀器光學鏡頭、天文望遠鏡光學元件

常見鍍膜

高反射雷射鏡(HR > 99.9%)、高耐久雷射防護膜、特定波長窄頻濾片、雷射增透膜、低吸收光學鍍膜

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