Glass Lens Coater
GLC|為玻璃光學鏡頭打造的精密蒸鍍解決方案
Glass Lens Coater|Precision Evaporation for Optical Lenses為精密光學鏡頭量身打造的專用蒸鍍平台
光學鏡頭是各類成像系統的核心零組件,從相機、車載鏡頭、安防監控、到工業檢測,鏡頭的成像品質直接決定終端產品的競爭力。然而,光學鏡頭對薄膜的均勻性、附著力、環境耐受性與多層膜疊加精度,有著遠高於一般鍍膜的嚴苛要求。
大永真空 GLC 光學鏡頭蒸鍍機(Glass Lens Coater),是基於大永數十年蒸鍍經驗、針對玻璃光學鏡頭應用所優化的專用設備。GLC 整合大永自主研發的高效能離子源、自研光學監控系統(OMS)、以及行星式公自轉治具,為相機鏡頭、車載光學、精密成像等高階應用,提供穩定可靠的量產級蒸鍍解決方案。
自研 IAD 離子輔助系統|實現高緻密、高耐候光學薄膜
傳統蒸鍍薄膜在處理多層光學膜系時,容易因膜層應力與環境溫濕度變化導致光譜漂移、附著力衰退等問題。GLC 全機標配大永自製的 18cm / 24cm / 27cm 高效能離子源,於蒸鍍過程中同步進行離子輔助沉積(Ion-Assisted Deposition, IAD)。
透過離子束的能量轟擊,蒸發原子在基板表面獲得更高的遷移能量,使薄膜結構更為緻密、附著力顯著提升。即便在低溫製程條件下,GLC 仍能產出具備優異環境穩定性與機械強度的光學薄膜,通過嚴苛的高溫高濕、鹽霧、耐磨耗等車規級可靠度測試。
大永自研光學監控系統(OMS)|多層膜厚度精準命中設計值
光學鏡頭常見的寬頻抗反射膜(BBAR)、多波段截止濾片等高階膜系,動輒數十層甚至百層膜堆疊,任何一層的膜厚誤差都將被放大,直接影響最終光譜表現。GLC 搭載大永自主研發的光學監控系統(Optical Monitoring System, OMS),透過即時光譜偵測技術,精準掌握每一層薄膜的沉積狀態。
OMS 系統與設備控制端無縫整合,具備毫秒級的快速修正能力,有效解決長製程中常見的膜厚漂移問題。透過 OMS 的精密控制,GLC 能讓多層光學膜系的光譜表現高度貼合設計值,大幅提升良率與批次間一致性。
行星式公自轉治具|完美貼合鏡頭曲率與量產需求
光學鏡頭多為球面或非球面結構,鏡片表面的鍍膜均勻性對成像品質至關重要。GLC 採用行星式公自轉治具設計,搭配大永自有的鍍膜均勻性模擬程式(FAST, Film-thickness Accurate Simulation Tool),可依不同鏡頭曲率與尺寸客製化治具配置,確保大面積批量鍍膜時的厚度均勻性控制在 ±1% 以內。
從研發試樣到大規模量產,GLC 提供 1100、1350、1550、1800 等多種腔體規格選擇,協助客戶在不同發展階段實現最佳的設備投資與產能擴充規劃。
規格表Specifications
| Model | GLC-1100 / 1350 / 1550 / 1800 |
|---|---|
| 產品線 | 光學蒸鍍鍍膜設備 - 光學鏡頭蒸鍍機 |
| 基板材質 | 玻璃光學基板(BK7、Fused Silica、藍寶石、各類光學玻璃) |
| 鍍膜技術 | 電子束蒸鍍(E-beam Evaporation) + 離子輔助沉積(IAD) |
| 離子源 | 大永自製 18 / 24 / 27 cm 高效能離子源(依腔體尺寸配置) |
| 光學監控 | 大永自研光學監控系統(OMS) - 即時光譜偵測 + 毫秒級修正 |
| 膜厚均勻性 | ± 1% 以內(全載點) |
| 治具設計 | 行星式公自轉治具,可依鏡頭曲率與尺寸客製化 |
| 可成膜材料 | 氧化物(SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、HfO₂、ZrO₂)、氟化物(MgF₂)、金屬(Al、Ag、Cr、Au、Pt) |
| 極限真空 | ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr |
| 操作模式 | IPC 全自動 / 手動模式 |
| 選配模組 | 多層膜強化 / 治具設計 |
※ 上述為標準配置,實際規格可依客戶應用需求客製化調整。
01玻璃光學基板專用優化設計
- 材質適配:針對 BK7、Fused Silica、藍寶石、各類光學玻璃做製程參數優化,確保附著力與膜質穩定。
- 高溫製程:可承受高溫加熱製程,使薄膜結晶度與緻密性最佳化,適合高階光學應用。
- 耐候表現:通過高溫高濕、鹽霧、耐磨耗等環境測試,適用於戶外、車載、工業等嚴苛環境。
02大永自製高效能離子源(IAD)
- 自主研發:全機標配大永自製 18cm / 24cm / 27cm 離子源,核心技術自主掌握。
- 最佳化匹配:離子源依腔體幾何精準配置,確保離子流場均勻覆蓋整個鍍膜載點。
- 高緻密膜質:顯著提升薄膜緻密性、機械強度與環境耐受力,即使低溫製程亦能達到優異膜質。
03大永自研光學監控系統(OMS)
- 即時偵測:透過光譜分析技術,即時監控每一層薄膜的沉積狀態與光學特性。
- 毫秒級修正:與設備控制端無縫整合,具備快速修正能力,有效解決膜厚漂移問題。
- 高良率保證:確保多層膜製程中每層厚度精準命中設計值,大幅提升光譜吻合度與量產良率。
04行星式公自轉治具與 FAST 模擬程式
- 客製化設計:依鏡頭曲率與尺寸提供客製化治具設計,適配各類光學鏡頭幾何形狀。
- 均勻性模擬:搭配大永自有 FAST 程式,可在開機前進行鍍膜均勻性模擬,大幅縮短補正版調整時間。
- 批量量產:公自轉設計確保大載量下的均勻性表現,膜厚均勻性可控制在 ±1% 以內。
05完整腔體尺寸選擇|對應研發到量產
- 規格齊全:提供 1100 / 1350 / 1550 / 1800 等多種腔體尺寸,涵蓋研發試樣到大規模量產需求。
- 彈性配置:依客戶實際應用、產能規劃與廠房空間,選擇最適合的機型配置。
- 高稼動率:全自動化控制系統與大永客戶服務團隊,協助客戶在實際生產中維持高稼動率與穩定產出。
GLC 憑藉精準的光學監控、強力的離子輔助與行星式治具設計,廣泛應用於各類精密光學鏡頭製造領域,從消費電子到高階工業檢測,皆能提供穩定可靠的量產級鍍膜方案。
01精密光學鏡頭 Precision Optics
高階成像鏡頭對光譜特性、像差控制、抗反射性能有極為嚴苛的要求,GLC 的 OMS 光學監控系統能確保複雜膜堆的精準度,滿足消費級到專業級鏡頭製造需求。
02車載光學與感測 Automotive Optics
車載鏡頭需通過嚴苛的車規級耐候測試(-40°C ~ +85°C 高低溫循環、高溫高濕、鹽霧、耐磨耗等)。GLC 的高緻密 IAD 製程能確保薄膜在極端環境下仍維持光學性能與附著力,是車用光學供應鏈的可靠選擇。
03安防監控與工業檢測 Surveillance & Industrial Inspection
安防與工業檢測鏡頭需在長時間運作下維持光學穩定性,且常遭遇日夜溫差、灰塵、濕氣等環境挑戰。GLC 的多層膜精準度與環境耐受力,能滿足 24/7 高可靠度應用需求。
04雷射與光通訊 Laser & Optical Communication
雷射光學元件對特定波長的高反射率、低吸收率、高雷射損傷閾值有嚴格要求。GLC 結合 OMS 監控與 IAD 高緻密膜質,可製作高品質雷射鏡與光通訊濾片。
05生醫光電與感測 Bio-medical & Sensing
生醫檢測與光學感測元件需要高訊噪比、高穩定性的光學濾光片。GLC 的精密膜厚控制與長期穩定性,可協助客戶開發高靈敏度的光學檢測系統。