【研習講座】真空技術與真空設備實務培訓

主 題 【研習講座】真空技術與真空設備實務培訓
內 容 邀請有經驗的技術專家以深入淺出方式,提供更完整且有系統的真空實務技術與真空設備的相關介紹,期使參與人員藉由本技術培訓班能更靈活運用真空技術,以提升我國半導體與光電產業之國際競爭力。本課程將介紹真空技術基本概念、各種真空幫浦原理、真空壓力量測技術、真空元件、真空材料、真空測漏、微量氣體分析、物理氣相沉積設備、化學氣相沉積設備、尾氣處理與設備安全等相關技術。
講 師 鄭教授
時 間 2010/11/26、11/27 9:30~16:30
地 點 高雄市一心一路243號4樓之1
課程大綱

 

  11/26(五)  1.基礎真空、氣導  2.真空幫浦、真空量測  3.真空測漏、微量氣體分析  4.真空材料、真空零組件

  11/27(六)  1.物理氣相沉積設備─蒸鍍、濺鍍  2.化學氣相沉積  3.尾氣處理設備  4.設備安全

                 

備 註 詳細資料:http://college.itri.org.tw/SeminarView1.aspx?no=23100952&msgno=306444
2010-11-26