太陽能電池製程實作
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| 主 題 | 太陽能電池製程實作 |
| 內 容 | 近年來綠色相關產業蓬勃發展，綠色產業可分為新能源和節能兩種，而太陽能電池是目前最熱門的綠色能源。配合此一全球的太陽光電能發展趨勢，本課程主要針對單晶矽太陽能電池製程的各種技術，諸如粗紋結構濕蝕刻、磷擴散製程、PECVD抗反射層鍍膜、網版印刷、燒結及電性量測等等，並於課程中做進一步相關設備及製程原理的解說，使初步接觸太陽能電池的學員能對太陽電池製程有更進一步的認識。本課程採每人一片晶圓，由晶圓投入到完成測試的完整課程。 |
| 講 師 | 林堅楊教授 |
| 時 間 | 2011/1/21、1/23、1/29、1/30 9:00~16:00 |
| 地 點 | 清華大學工程三館3樓302室 |
| 課程大綱 |
1.太陽能電池概論(6小時) 2.標準清洗、粗紋化濕式製程、磷擴散製程、片電阻量測(3 小時) 3.RIE乾蝕刻晶背絕緣製程(3小時) 4.背電極E-Gun鍍鋁(3小時) 5.網版印刷銀電極、鋁電極及燒結(3小時) 6.PECVD抗反射層(氮化矽)鍍膜製程(3小時) 7.太陽電池電性量測(3小時) |
| 備 註 | 資料來源：http://edu.tcfst.org.tw/query_coursedetail.asp?courseidori=00O001 |
2011-01-21