靜電消散（ESD）鍍膜技術｜精準電阻控制、抗靜電、防護機能提升

• 採用陰極電弧鍍膜技術進行物理氣相沉積（PVD），可穩定控制鍍膜表面電阻值於 10⁶～10⁸ Ω 區間，有效實現靜電消散功能。

薄膜特性

• 表面電阻值：10⁶～10⁸ Ω（靜電消散等級）
• 外觀顏色：灰黑色（L≒35）

可鍍基材

• 銅
• 各類鋼鐵
• 鋁合金
  
• 部分非導電材質（e.g. 氧化鋁）
  

應用

• 半導體晶圓載盤與基座、半導體晶圓傳送機構、半導體封裝與測試設備（檢驗夾具）