市場

大永真空設備以 「打造智慧且高效的鍍膜設備,服務半導體與精密光學產業」 為企業願景,致力於提供智慧化、高產能、高穩定的鍍膜解決方案。

針對 半導體市場, 解決方案涵蓋 抗電漿蝕刻鍍膜ALD 原子層沉積系統ESD 靜電消散鍍膜SiC 碳化矽鍍膜DLC 類鑽碳鍍膜 等關鍵應用。

針對 精密光學市場, 提供涵蓋 蒸鍍濺鍍ALD 原子層沉積系統 的全方位技術支援。

專業鍍膜設備搭載自有開發之先進軟體系統,包括 Fast™ 均勻性模擬Coating Guard™ 光學監控Plasma Guard™ 電漿監控系統, 實現鍍前預測與製程中即時調控,全面提升穩定性與產能。

大永真空,以智慧鍍膜技術為核心,為您實現穩定且高精密的鍍膜製程。