濺鍍

濺鍍之原理是在真空腔體中以靶材為陰極,通入惰性氣體,氣體內少量的自由電子受到外加電場作用,電子在電場中會被加速獲得能量,在低壓分子間平均自由徑比常壓長,故電子會有較長的加速距離而獲得高的能量,高能量的電子經由碰撞運動將動能轉移至惰性氣體上,使得氣體分子被離子化形成電漿,因電場的作用下,氣體中的正離子受到陰極靶材端所吸引,加速撞擊靶材表面。基於動量轉換原理,離子轟擊產生了二次電子另外還會將靶原子給擊出,而沉積於工件上,此動作稱為濺鍍。
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