光學蒸鍍鍍膜機
光學薄膜廣泛應用在各種生活用品,藉由不同的膜層堆疊及設計,利用光學干涉效應產生各種效果,鍍出不同功能的薄膜。
抗反射膜可使手機的拍照功能更清晰、眼鏡上的重影減少;長波通濾光片能減弱螢幕發出之藍光以保護眼睛;色彩鍍膜讓太陽眼鏡或泳鏡具有漂亮的顏色外觀;高反射鏡能應用在背光板,以增強反射光的強度,使照明更清楚,更可依需求設計不同波段的濾光片。
大永DMC系列光學設備,具有獨特的光學監控系統,可於腔體內量測廣波域光譜,計算真空中折射率,更易進行tooling值計算。並可利用導納軌跡的演算法,有效選擇切點,完成高品質薄膜。
產品型號 |
DMC Series |
產品名稱 |
多功能光學鍍膜機 |
適用基材 |
Polycarbonate、glass |
沉積技術 |
電阻式蒸鍍、電子槍蒸鍍(輔以離子源助鍍) |
鍍層材料 |
氧化物:TiO2,ZrO2,Al2O3,SiO2,ZnO,ITO |
塗層顏色 |
依客戶需求設計 |
腔室材質 |
SUS304 |
作業系統 |
IPC+PLC 自動、手動控制。 |
腔體尺寸 |
Ø1100, Ø1350,Ø1500mm |
極限真空(Torr) |
真空度優於6 x 10-7 Torr |
操作真空度 |
2 x 10-4 Torr~2 x 10-5 Torr |
抽氣速率 |
常溫常壓下,潔淨、乾燥且無素材的腔體,從大氣抽至1 x 10-5 Torr≦15分鐘。 |
膜厚量測系統 |
石英監控 |
加熱系統 |
最高250℃,150℃(30分內到達) |
回轉機構 |
五片式行星式公自轉 |
操作介面 |
17吋觸控工業電腦 |
電力需求 |
Ø1100:三相380V,50/60Hz,80kVA;單相110V,50/60Hz,1kVA Ø1350:三相380V,50/60Hz,80kVA;單相110V,50/60Hz,1kVA Ø1500:三相380V,50/60Hz,120kVA;單相110V,50/60Hz,1kVA |
冷卻水需求 |
• 流量
Ø1100:100L/min Ø1350:150L/min Ø1500:180L/min
•溫度 20~25℃(不可結露)
•入水壓力 5~6 kg/cm²
•回水壓力≦0.5kg/cm²
•pH值 7.5~8.5
•電導率 <600μS/cm
•微粒尺寸 <100μS
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壓縮氣體需求 |
6~8 kg/cm² |
製程氣體需求 |
Ar:純度99.99% |
- 製程穩定,鍍膜再現性高。
- 自動化鍍膜軟體,設定方便,直接載入光學設計檔及模擬完成光譜。
- 完整的製程參數及歷史紀錄,便利於使用者讀取歷史資料及分析。
- 雙語介面、圖像模式,易於操作。
- 獨立安全迴路電源、多組急停開關設置,提升人員操作安全性。
泳鏡、太陽眼鏡、各式濾光片、抗反射膜、手機背蓋......等產品。