表面輪廓量測儀
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表面輪廓量測儀(Alpha-step) |
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型 號： |
Alpha-step IQ |
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試片大小： |
< 150x150 mm
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最大掃瞄長度 : |
10 mm (解析度：0.01 µm@2 µm/s) |
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最大垂直範圍： |
2000 μm (解析度：0.0119 Å@20 μm) |
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掃描速度： |
2 ~ 200 μm/s |
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功 能： |
量測試片之表面粗糙度量測及表面輪廓 |
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