UV-VIS-NIR 分光光譜儀



JASCO® V770 UV/VIS/NIR 分光光譜儀 

型  號:
IBXL0005-V770-EA

光  源:
1. 氘氣燈for UV/VIS(190 ~ 350nm)
2. 鹵素燈for VIS/NIR(330 ~ 2700nm)

量測光斑大小:
6×12 mm2

量測波段範圍 :
190 ~ 2700 nm

量測準確度:
1. for UV/VIS range:±0.3 nm
2. for NIR range:±1.5 nm

量測模式:
穿透光譜(%T)、吸收光譜(Abs)



光源是由不同波長的各色光組成,藉由光柵繞射的方式,使得光因各波長不同的繞射角散開成連續光譜,經過狹縫選擇,分離出單一且特定波長之單色光。以分光鏡將單色光分成強度相等的兩束光,一束通過樣品,另一束則作為參考光,並進行兩束光的強度比對,此比值即為樣品的透射比,記錄各波長的透射比則可獲得穿透光譜。以相同的方式,比較兩束光的強度衰減,可以獲得吸收光譜。


待測樣品規格及可量測項目


  • 樣品要求:
    1. 種類:固態樣品(片狀或薄膜)
    2. 尺寸:片狀樣本最大面積可以8 × 8 cm2,但不得低於2 × 2cm2
  • 可量測項目:

穿透或吸收光譜:穿透式固態樣品(片狀或薄膜)量測

  • 額外分析項目(須提供空白基板):
    1. 單層薄膜光學常數(n, k…)分析
    2. 薄膜厚度分析


分析案例

  • 單層薄膜穿透率量測
           以分光光譜儀量測氮化鋁薄膜(AlN) 單層膜之結果:


AlN單層膜穿透光譜



  • 多層膜堆穿透率量測

以分光光譜儀量測抗反射多層膜之結果:


    

抗反射多層膜量測光譜