DLC類鑽碳鍍膜

 


類鑽石(Diamond-like Carbon,DLC)是一種非晶形的碳材料,其諸多的材料性質類似於鑽石,例如高硬度、耐磨耗、低摩擦係數,因而得名為類鑽石。DLC塗層具堅硬、表面光滑等特性,透過不同的製程調適,應用於廣泛的商業領域。

鍍製DLC膜的常見方法有電漿增強化學氣相沉積法(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)、離子束輔助沉積法(Ion-beam Assisted Deposition,IBAD)、濺射沉積法 (Sputtering Deposition)、磁過濾陰極電弧法(Filtered Cathodic Arc Deposition,FCAD)、脈衝雷射沉積法(Pulsed Laser Deposition,PLD)等。一般DLC膜可藉由調控製程參數(例如基板偏壓、電漿密度......)以控制膜中sp3鍵的比例,達到優異的機械性質,例如硬度可從10 GPa調控到40 GPa。        



規格



 主要成分

DLC(類鑽碳)

 厚度 (um)

0.5~15

 硬度 (HSD)

13.73~56.88 Gpa
1400~5800 (Hv)

 摩擦係數

>0.065

 抗靜電

加熱200℃,阻值穩定於105~107 Ω

 最高耐溫(℃) 

<500

 水滴角

>110º

 刮痕測試

>100N

 壓痕測試

>1500N

 成方式

PVDHIPIMS



應用

特性

  • 切削刀具塗層
  • 鑽頭塗層
  • 模造玻璃脫膜層
  • 光碟模具
  • 汽、機車摩潤零件
  • 機械零組件
  • 裝飾鍍膜
  • 阻隔包裝材料
  • 醫用植入體材料
  • 液晶配向膜
  • 電阻式記憶體
  • 高硬度
  • 低摩擦係數
  • 附著力佳
  • 高緻密度
  • 耐磨耗
  • 良好脫模性
  • 電絕緣性
  • 耐腐蝕性
  • 高化學穩定性
  • 具生物相容性
  • 可於室溫下成長


解決方案