• 高效率表面電漿處理設備

高效率表面電漿處理設備

型號 : DYPC

本設備採用自動化傳輸架構並搭配專利電極,利用電漿來快速進行表面清潔、表面改質或粗糙化等製程。適用於高分子材料基板,可有效提升後續製程之可靠度。
型號

DYPC-9069

抽氣時間 40秒達0.1 Torr以下
載台尺寸 906 690 80 mm (可客製)
傳動系統 自動進出載台
排氣系統 魯式幫浦+油迴轉幫浦
主設備體積(W D H) 2760 1205 1846 + 400(mm)
工作參考空間(W D H) 43603800 2400(mm)
  1. 專利設計之特殊電漿電極,電漿均勻性佳
  2. 高密度電漿源,電漿效率高,減少製程時間
  3. 特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
  4. 可使用多種製程氣體,設備穩定度高易維護
  5. 線上電漿頻譜監控(option)
  6. 可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台,並設定單邊或雙邊操作
  1. 去除PCB電路板鑽孔加工時產生的膠渣
  2. 可對目前電子紙或一般軟性基材或FPC做表面改質
  3. 塑膠材料表面有機物汙染物的清潔
  4. 塑膠材料表面改質或粗糙化

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