電子束光學蒸鍍鍍膜機
型號 :
DMC EB
光學薄膜廣泛應用在各種生活用品,藉由不同折射率材料的堆疊及設計,利用光學干涉現象使光產生各種效果,鍍出不同功能的光學多層膜。
彩色裝飾膜讓太陽眼鏡或泳鏡具有漂亮的顏色外觀;高反射鏡能應用在背光板,以增強反射光的均勻性,增加照明效率。更可依需求設計不同功能的濾光片。
大永DMC-EB系列光學設備有高度製程靈活性,多坩鍋的配置可於真空中完成多層膜製程,增加產出效率。並透過石英振盪片精準監控薄膜厚度與鍍率,提高製程穩定性。
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DMC 1350 EB |
DMC 2350 EB |
適用基材 |
玻璃、高分子基材 |
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沉積技術 |
熱阻舟蒸鍍、電子槍蒸鍍 |
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鍍層材料 |
氧化物:TiO2, Al2O3, SiO2 金屬膜:Al, Ti, Cr, Cu, Ag, Pt, Pd, Au |
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腔體尺寸 (mm) |
Ø1350 |
Ø2350 |
迴轉機構 |
行星式公自轉、傘架式公轉 | |
極限真空 (Torr) |
優於 5 x 10-7 |
優於 8 x 10-7 |
抽氣速率 |
從大氣抽至1 x 10-5 Torr ≦15分鐘 |
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電子槍數量 |
1 | |
石英監控系統 |
旋轉6點式 |
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加熱系統 |
最高250℃,150℃ (30分內到達) |
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操作介面 |
17吋觸控工業電腦 |
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操作系統 |
IPC+PLC 自動、手動控制 |
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電力需求 (3ø 380V ) |
80 kVA |
135 kVA |
冷卻水需求 |
150 L/min |
200 L/min |
壓縮氣體需求 |
6~8 kg/cm² |
- 基材種類限制少。
- 製程穩定性、再現性高。
- 自動化鍍膜軟體,設定方便,直接載入光學設計檔進行製程。
- 完整的製程參數與歷史紀錄,便利於使用者讀取歷史資料進行分析與優化。
- 雙語介面、圖像模式,易於操作。
- 獨立安全迴路電源、多組急停開關設置,提升人員操作安全性。
泳鏡、手機背蓋、太陽眼鏡......等產品。