捲繞式磁控濺鍍機
型號 :
DMRC-SP
真空鍍膜技術是軟性電子量產化中不可或缺的一環。近年來許多知名研究機構與企業爭相投入研究開發，以期成為真空鍍膜領域之佼佼者。傳統電子產業中普遍使用「矽」及「玻璃」為主要生產基材，隨著技術應用的演變，「矽、玻璃」已無法滿足柔軟且可調整的產品應用特性。 Darly為因應電子技術的演進，創新研發出繞捲式鍍膜及多層鍍膜，並可應用於電子紙、ITO薄膜、軟性電路板，太陽能薄膜電池、醫療試片、RFID天線及水氧阻隔膜等各項產品，相信我們的設備可為鍍膜產業帶來極佳的生產效率及可靠的穩定性。
| Model | M 400 | M 800 | M 1200 |
| Coating Width | 400 mm | 800 mm | 1200 mm |
| Maximum Roll Diameter | 600 mm | 600 mm | 600mm |
| Maximum Web Speed | 100 fpm | 100 fpm | 100 fpm |
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Maximum Web Speed |
3 fpm | 3 fpm | 3 fpm |
| Deposition Zone | 3 ~ 6 |
3 ~ 6 |
3 ~ 6 |
| Pressure Zone | 4 ~ 8 |
4 ~ 8 |
4 ~ 8 |
- 允許多個鍍膜源(金屬、合金、介電材料)同時鍍膜，且無需破真空。
- 分離式腔體可進行不同壓力之各式蒸鍍、濺鍍、電子槍或CVD等鍍膜方式。
- 使用交流伺服馬達增加製程穩定性。
- 雙向繞捲設計，多層鍍膜製程亦無須破真空。
- 光學或電阻式線上即時膜厚監控系統，可確保鍍膜均勻性。
捲繞式濺鍍鍍膜機，可應用於電子紙、ITO薄膜、軟性電路板，太陽能薄膜電池、醫療試片、RFID天線及水氧阻隔膜等各項產品。
