• 陰極電弧類鑽碳鍍膜機

陰極電弧類鑽碳鍍膜機

型號 : DYHC-DLC

工具鍍膜的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系數,提高工件的使用壽命,主要應用在各種刀剪、切削刀具(如铣刀、刨刀、鑽刀、切割刀 等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產品中。

大永真空硬質塗層設備具獨特的腔體設計與電源配置,可根據客戶需求提供客製化靶材點位設計以滿足客戶需求。並可選配磁過濾管,每個弧靶前附磁過濾管串連可依客戶需求進行調整,藉以增加靶材離化率,減少靶材顆粒附著,降低生產成本,提升鍍膜品質。




DYHC 1000 DLC 
適用基質
金屬
塗層技術 陰極電弧沉積
  • 塗層材料
  • 金屬膜(如Ti、Cr、Ag、Cu、Al...等)
  • 氮化物膜(TiN、CrN、TiAlN、AlCrN)
  • 碳化物膜(DLC、TiC、TiCN)
  • 氧化物膜(TiO、ZnO...等)
塗層顏色 依製程而定
腔室材質 SUS304
操作系統
IPC&PLC
重量 ~5000 kg
零部件品牌 美國MKS、普發Pfeiffer、萊寶Leybold…等歐美廠牌
排氣系統
普發Pfeiffer、萊寶Leybold…等歐美廠牌
腔體直徑
Ø1000 mm 
腔體高度
 H1000 mm
自轉軸數
7軸(可依據產品需求 ,設計其他型式)
有效鍍膜直徑 Ø228 mm 
有效鍍膜高度 H750 mm
蒸鍍源數量
10組
蒸鍍電源功率(kW)
10 kW
極限真空(Torr)
5×10-6 Torr
製程週期
依製程而定

需求電源

3 phase,380 V ±5% ,150 A ,60 Hz ,獨立接地

  1. 全自動化控制(IPC & PLC),複合式多層膜鍍膜系統。
  2. 可進行金屬薄膜、金屬玻璃薄膜、合金薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜、碳氮化物薄膜與氮氧化物薄膜之研究。
  3. 採集製程工藝數據、生產警報數據、方便數據採集及設備維修。
  4. 鍍膜製程中不會產生其他有害物質,可節省濕製程造成之環安處理費用。
  5. 膜層表面緻密性高, 功能性與色澤均優於傳統濕製程電鍍。
  6. 低置式腔體搭配行星式公自轉機構,適合各種尺寸工件大批量鍍膜生產。
  7. 符合歐盟CE安全標準與技術規範(選配)。
  8. 置具台車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率。
  9. 雙語介面、圖像模式,易於操作。
  10. 獨立安全迴路電源、多組急停開關設置,提升人員操作安全性。

應用:半導體、醫療器材、機械零組件、切削刀具、模具、汽機車摩潤零件、液晶配向膜、電阻式記憶體......等。

             

 

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