陰極電弧類鑽碳鍍膜機
型號 :
DYHC DLC
DLC塗層擁有高硬度、低摩擦係數、高緻密度、耐磨耗、耐腐蝕性等特點,薄膜可於低溫下沉積,因此廣泛應用於切削刀具塗層、鑽頭、汽車摩潤零件、裝飾鍍膜(如手錶外殼、手機外殼)、機機械零件、各種模具等產品中。
大永真空硬質塗層設備具獨特的腔體設計與電源配置,可根據客戶需求提供客製化靶材點位設計以滿足客戶需求。並可選配磁過濾管,每個弧靶前附磁過濾管串連可依客戶需求進行調整,藉以增加靶材離化率,減少靶材顆粒附著,降低生產成本,提升鍍膜品質。
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DYHC 1000 DLC |
適用基質 |
金屬 |
塗層技術 |
陰極電弧沉積 |
塗層材料 |
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塗層顏色 |
依製程而定 |
腔室材質 |
SUS304 |
操作系統 |
IPC&PLC |
重量 |
~5000 kg |
零部件品牌 |
美國MKS、普發Pfeiffer、萊寶Leybold…等歐美廠牌 |
排氣系統 |
普發Pfeiffer、萊寶Leybold…等歐美廠牌 |
腔體直徑 |
Ø1000 mm |
腔體高度 |
H1000 mm |
自轉軸數 |
7軸(可依據產品需求 ,設計其他型式) |
有效鍍膜直徑 | Ø228 mm |
有效鍍膜高度 |
H750 mm |
電弧源數量 |
10組 |
電弧電源功率(kW) |
10 kW |
極限真空(Torr) |
5×10-6 Torr |
製程週期 |
依製程而定 |
需求電源 |
3 phase,380 V ±5% ,150 A ,60 Hz ,獨立接地 |
- 全自動化控制(IPC & PLC),複合式多層膜鍍膜系統。
- 可進行金屬薄膜、金屬玻璃薄膜、合金薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜、碳氮化物薄膜與氮氧化物薄膜之研究。
- 採集製程工藝數據、生產警報數據、方便數據採集及設備維修。
- 鍍膜製程中不會產生其他有害物質,可節省濕製程造成之環安處理費用。
- 膜層表面緻密性高, 功能性與色澤均優於傳統濕製程電鍍。
- 低置式腔體搭配行星式公自轉機構,適合各種尺寸工件大批量鍍膜生產。
- 符合歐盟CE安全標準與技術規範(選配)。
- 置具台車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率。
- 雙語介面、圖像模式,易於操作。
- 獨立安全迴路電源、多組急停開關設置,提升人員操作安全性。
應用:滾珠軸承、渦輪零件、鋁擠壓模具、粉末冶金模具、醫療器材、機械零組件、切削刀具、模具、汽機車摩潤零件、液晶配向膜、電阻式記憶體......等。